(5 голосовало, оценка: 1,80 из of 5)
Загрузка...
ДАТЧИК ВЛАЖНОСТИ ПОВЕРХНОСТНО-КОНДЕНСАЦИОННОГО ТИПА
Митрофан Горлов
Дмитрий Ануфриев
Павел Коваленко
Наталья Шишкина
В работе предложена конструкция микроэлектронного датчика влажности поверхностно-конденсационного типа и методика измерения паров воды внутри корпусов интегральных схем.
Пары воды, адсорбированные на поверхности полупроводникового кристалла, либо непосредственно участвуют в деградационных процессах, либо косвенно способствуют развитию разного рода механизмов отказа интегральных схем (ИС). Отказы, связанные с влиянием влаги, для ИС в металлостеклянных и металлокерамических корпусах составляют от общего числа отказов до 60–80% [1, 2].
В отечественной и зарубежной документации норма по содержанию влаги в корпусе при 25 °С установлена равной 500 и 600 ppm (что эквивалентно 0,05 и 0,06 объемного процента) соответственно для монолитных и гибридных ИС.
